自動化設備

DETAIL
Foup Cleaner 設備規格
DJ-300迴轉式清洗機
機台尺寸 : 2000 *1800*2250(mm)參考尺寸
機台重量 : 1000 kg
氣壓:6kg/cm平方,流量200LPM以上
電壓:50HZ, 3P380V
主軸轉數:5~250RPM
烘烤溫度:室溫~80度C(IR紅外線加熱中間X1,外側X2,共三隻中波長高效燈管)
控制系統:Mitsubishi PLC
水氣:DI Water  3kg f/cm2以上/1”
排氣:6” 排氣
適用產品:12”Foup  8”CST BOX
產品特性:可對應各種形式的 Foup & FOSB (SEMI standard 適用 Foup)