Foup Cleaner 設備規格
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DJ-300迴轉式清洗機
機台尺寸 : 2000 *1800*2250(mm)參考尺寸 機台重量 : 1000 kg 氣壓：6kg/cm平方,流量200LPM以上 電壓：50HZ, 3P380V 主軸轉數：5~250RPM 烘烤溫度：室溫~80度C(IR紅外線加熱中間X1,外側X2,共三隻中波長高效燈管) 控制系統：Mitsubishi PLC 水氣：DI Water 3kg f/cm2以上/1” 排氣：6” 排氣 適用產品：12”Foup 8”CST BOX 產品特性：可對應各種形式的 Foup & FOSB (SEMI standard 適用 Foup) |
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