Wafer Stack Box(晶圓堆疊盒/暫存盒/晶圓載具) 主要為抗靜電設計，水平放置晶圓後用於保護運送及暫存晶圓，可堆疊便於存放。亦可附加選用晶圓間隔包材，將晶片分隔，能夠放置多片晶圓。適用的晶圓尺寸 : 6吋(150mm)，8吋(200mm)，12吋(300mm)。