PFA Cassette

DETAIL

產品介紹
鐵氟龍卡匣為承載半導體晶圓片的容器,可依照客戶需求設計,耐高溫200~220℃,適合使用在需耐高溫條件下防粘和耐化學性領域,例如 強酸、強氟酸、強鹼,應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。

4"  PFA Cassette

l承載容量 : 25 pcs

l產品尺寸 : 142.2(L) x 125.4(W) x 114.3(H)mm

5"  PFA Cassette

l承載容量 : 25 pcs

l產品尺寸 : 152.4(L) x 142.8(W) x 146(H)mm

5.2"  PFA Cassette

l承載容量 : 25 pcs

l產品尺寸 : 163(L) x 142.3(W) x 151(H)mm

6"  PFA Cassette

l承載容量 : 25 pcs

l產品尺寸 : 143.3(L) x 177.8(W) x 171.4(H)mm

 

8"  PFA Cassette(高版)
8"  PFA Cassette(矮版)

l承載容量 : 25 pcs

l產品尺寸 : 高版 203(L) x 233(W) x 218(H)mm

                   矮版 234(L) x 220(W) x 159(H)mm

12"  PFA Cassette

l承載容量 : 13 pcs

l產品尺寸 :350(L) x 180(W) x 320(H)mm

 

 

進入化學酸、鹼蝕刻製程中,鐵氟龍晶舟盒需要靠手把夾持



M型壓桿把手

 

 


 



Y型把手