產品介紹
鐵氟龍卡匣為承載半導體晶圓片的容器,可依照客戶需求設計,耐高溫200~220℃,適合使用在需耐高溫條件下防粘和耐化學性領域,例如 強酸、強氟酸、強鹼,應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。
進入化學酸、鹼蝕刻製程中,鐵氟龍晶舟盒需要靠手把夾持
M型壓桿把手
Y型把手