PFA Cassette(卡匣/花籃/晶舟/晶圓盒)
鐵氟龍(Teflon)卡匣(PFA Cassette)為承載半導體晶圓片的容器，可依照客戶需求設計，耐高溫200~220℃，適合使用在需耐高溫條件下防粘和耐化學性領域，例如 強酸、強氟酸、強鹼，應用於FABRICATION廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。適用晶圓尺寸 : 4吋(100mm)、5吋(125mm)、5.2吋(132mm)、6吋(150mm)、8吋(200mm)、12吋(300mm)。
4" PFA Cassette
承載容量 : 25 pcs
產品尺寸 : 142.2(L) x 125.4(W) x 114.3(H)mm
5" PFA Cassette
承載容量 : 25 pcs
產品尺寸 : 152.4(L) x 142.8(W) x 146(H)mm
承載容量 : 25 pcs
產品尺寸 : 163(L) x 142.3(W) x 151(H)mm
6" PFA Cassette
承載容量 : 25 pcs
產品尺寸 : 143.3(L) x 177.8(W) x 171.4(H)mm
8" PFA Cassette(高版)
承載容量 : 25 pcs
產品尺寸 : 203(L) x 233(W) x 218(H)mm
8" PFA Cassette(矮版)
承載容量 : 25 pcs
產品尺寸 : 234(L) x 220(W) x 159(H)mm
12" PFA Cassette
承載容量 : 13 pcs
產品尺寸 :350(L) x 180(W) x 320(H)mm
12" PFA Cassette
承載容量 : 25 pcs
產品尺寸 :352(L) x 217(W) x 260(H)mm
Handle
進入化學酸、鹼蝕刻製程中，鐵氟龍晶舟盒(PFA Cassette)需要靠手把(Handle)夾持。公司可以提供M型壓桿把手(M-type handle)、Y型把手(Y-type handle)。
M型壓桿把手
M型壓桿把手
Y型把手