Wafer Shipping Box(晶圓傳輸盒/晶圓載具)
Wafer Shipping Box 主要承載從晶柱切下的空白晶圓片至下端的晶圓廠單純運輸用,防止晶圓碰撞、摩擦,降低晶圓汙染的風險,不可進入製程使用。晶圓盒可堆疊,方便洗淨包裝完成後出貨使用。適用晶圓尺寸 : 8吋(200mm)。
Wafer Shipping Box 主要承載從晶柱切下的空白晶圓片至下端的晶圓廠單純運輸用,防止晶圓碰撞、摩擦,降低晶圓汙染的風險,不可進入製程使用。晶圓盒可堆疊,方便洗淨包裝完成後出貨使用。適用晶圓尺寸 : 8吋(200mm)。